style="width:10.31336in;height:3.08in" /> 本文是学习GB-T 34091-2017 电子工业用气体 六氟乙烷. 而整理的学习笔记,分享出来希望更多人受益,如果存在侵权请及时联系我们
本标准规定了电子工业用六氟乙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于工业用六氟乙烷经精制提纯而得的高纯六氟乙烷产品。主要在电子工业等离子蚀刻
工艺中作为蚀刻气体或作为电子器元件清洗剂。
分子式：C2F₆。
相对分子质量：138.0124(按2013年国际相对原子质量)。
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件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB 190 危险货物包装标志
GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则
GB/T 5099 钢质无缝气瓶
GB/T 5832.1 气体分析 微量水分的测定 第1部分：电解法
GB/T 7144 气瓶颜色标志
GB/T 14193 液化气体气瓶充装规定
GB 15258 化学品安全标签编写规定
GB/T 16804 气瓶警示标签
GB/T 26571 特种气体储存期规范
GB/T 28726 气体分析 氦离子化气相色谱法
TSG R0006 气瓶安全技术监察规程
危险化学品安全管理条例(2002年版)
特种设备安全监察条例(2009年版)
六氟乙烷的质量应符合表1的要求。
表 1 技术指标
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GB/T 34091—2017
表 1 ( 续 )
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4.1.1
六氟乙烷产品除酸度外的其他指标应逐一检验并验收，酸度每批次检一瓶。当检验结果有任何
一项指标不符合本标准技术要求时，则判该产品不合格。生产企业应确保每一包装六氟乙烷产品符合
本标准技术要求。
4.1.2 六氟乙烷采样安全应符合GB/T3723 的相关规定。
4.2.1 总杂质含量按式(1)计算：
φ,=中+中2+中；+中+中；+中；+中，+中 …………………… (1)
式中：
币。 总杂质含量(体积分数),10-⁶ ;
φ — — 氢含量(体积分数),10-⁶ ;
φ2 — — (氧+氩)含量(体积分数),10-⁶ ;
φ3 ——氮含量(体积分数),10-⁶ ;
φ— 一氧化碳含量(体积分数),10-⁶ ;
φ。 ——二氧化碳含量(体积分数),10-⁶ ;
φ6— 甲烷含量(体积分数),10-⁶ ;
φ — — 卤代烃含量(体积分数),10-⁶ ;
φ: —— 水分含量(体积分数),10-⁶。
4.2.2 六氟乙烷纯度按式(2)计算：
φ=100- φ。×10-4 ………………………… (2)
式中：
φ —— 六氟乙烷纯度(体积分数),10-²。
4.3 氢、氧+氩、氮、 一氧化碳、二氧化碳、甲烷和卤代烃含量的测定
按 GB/T 28726 规定的切割进样的方法测定六氟乙烷中的氢、氧+氩、氮、
一氧化碳、二氧化碳、甲
GB/T 34091—2017
烷和卤代烃含量。
预分离柱：长约2 m、 内 径 2 mm 的316L 不锈钢柱，内装粒径为0.18
mm～0.25 mm 的 Porapak Q
(高分子聚合物),或其他等效色谱柱。
色谱柱I: 长 约 2m、 内 径 2 mm 的316L 不锈钢柱，内装粒径为0.18
mm～0.25mm 的 5A 分子筛，
或其他等效色谱柱，用于分析氢、氧十氩、氮、 一氧化碳组分。
色谱柱Ⅱ:长约2m、 内 径 2 mm 的316L 不锈钢柱，内装粒径为0.18 mm～0.25
mm 的 Porapak Q,
或其他等效色谱柱，用于分析二氧化碳、甲烷组分。
色谱柱Ⅲ:长约50 m、内径0.53 mm、 内涂15μm 厚度的 Al₂O₃
毛细柱，或其他等效色谱柱，用于
分析卤代烃组分。
标准样品：组分含量的体积分数为1×10-⁶ ~5×10-⁶
,或与样品其中的组分含量相近，平衡气
为氦。
允许采用其他等效的方法测定六氟乙烷中的氢、氧+氩、氮、
一氧化碳、二氧化碳、甲烷和卤代烃含
量。当以上测定结果有异议时，以本标准规定的方法为仲裁方法。
按 GB/T
5832.1规定的方法或其他等效的方法测定六氟乙烷的水分含量。当以上测定结果有异
议时，以GB/T 5832.1规定的方法为仲裁方法。
试样中的酸和酸性物质与过量的氢氧化钠标准溶液发生中和反应，以甲基红-溴甲酚绿为指示剂，
用硫酸标准溶液滴定过量的碱，从而测定出试样的酸度。
4.5.2.1 氢氧化钠标准溶液：c(NaOH由0.1 mol/L 标准溶液稀释制取。
4.5.2.2 硫酸标准滴定溶液：c(1/2H₂SO₄mol/L 。 由0. 1 mol/L 标准溶液稀释制取。
4.5.2.3
混合指示剂：甲基红乙醇溶液与溴甲酚绿乙醇溶液按1:3体积比混合。
4.5.3.1 微量滴定管：5 mL, 分度值为0.02 mL, 或0.01
mL。
4.5.3.2 多孔气体分布管：孔度为2号。
4.5.3.3 湿式气体流量计：量程为2 L。
酸度测定的吸收装置如图1所示。缓冲瓶、吸收瓶均为300 mL
锥形瓶，吸收瓶内各装入100 mL 新煮沸过的蒸馏水和4.00 mL
氢氧化钠标准溶液。气体分布器管口距瓶底8 mm, 试样气体流速 500
mL/min,通气量约15
L,由湿式气体流量计计量。通气完毕，从系统中取下吸收瓶，分别加入4滴~
5滴混合指示剂，用硫酸标准溶液滴定，溶液由蓝绿色变为红色为终点。
GB/T 34091—2017
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说明：
2、3——吸收瓶；
图 1 酸度吸收装置
试样体积按式(3)计算：
style="width:5.84666in;height:1.34002in" />
……………………
(3)
式中：
V 20℃,101.3kPa 的试样体积的数值，单位为升(L);
Pi 、P₂— 流量计始态与终态的大气压力的数值，单位为千帕(kPa);
ti、t2 — 流量计始态与终态的温度的数值，单位为摄氏度(℃);
Vi 、V₂— 流量计始态与终态的读数值，单位为升(L)。
酸度(以 HF 计)的质量分数w, 数值以10-⁶表示，按式(4)计算：
style="width:6.04663in;height:0.65318in" /> (4)
式中：
V 。 —— 空白试验消耗硫酸标准滴定溶液的体积，单位为毫升(mL);
Vi、V₂—
分别为滴定两个吸收瓶溶液消耗的硫酸标准滴定溶液的体积，单位为毫升(mL);
20 — — 氢氟酸(HF) 的摩尔质量，单位为克每摩尔(g/mol);
c —— 硫酸(1/2H₂SO₄) 标准滴定溶液的浓度，单位为摩尔每升(mol/L);
5.74 —20℃,101.3 kPa 时六氟乙烷的密度，单位为克每升(g/L);
V 20℃,101.3 kPa 时试样体积，单位为升(L)。
取平行测定结果的算术平均值为测定结果。两次平行测定结果的相对偏差应不大于40%。
允许采用其他等效的方法测定六氟乙烷中的酸度含量。当以上测定结果有异议时，以本标准规定
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的方法为仲裁方法。
5.1.1 六氟乙烷的充装及贮运应符合 TSG
R0006、《危险化学品安全管理条例》(2002年版)和《特种设
备安全监察条例》(2009年版)的相关规定。
5.1.2 包装六氟乙烷的气瓶应符合 GB/T 5099 的规定。
5.1.3
推荐使用进行内表面处理的气瓶，处理后的气瓶应满足本标准的要求。瓶阀出气口连接方式推
荐使用CGA320。
5.1.5 六氟乙烷的充装应符合 GB/T 14193 的相关规定。
5.1.6 六氟乙烷的包装标志应符合GB190 的相关规定，颜色标志应符合GB/T7144
的规定，标签应符 合GB/T 16804、GB 15258 规定的要求。
5.1.7 包装容器上应标明“电子级六氟乙烷”字样。
5.1.8 瓶装六氟乙烷的最大充装量按式(5)计算：
m=F, ·V ………………………… (5)
式中：
m — 气瓶内六氟乙烷的质量，单位为千克(kg);
F,— 六氟乙烷的充装系数，12.5 MPa 时 ，F,=1.06 kg/L;8 MPa 时 ，F,=0.83
kg/L;
V — 气瓶标明的内容积，单位为升(L)。
5.1.9 六氟乙烷的充装量按实际称量的质量计。
5.1.10 六氟乙烷的保存期限按 GB/T 26571规定执行。
5.1.11 六氟乙烷出厂时应附有质量合格证，其内容至少应包括：
——产品名称、生产厂名称、危险化学品生产许可证编号；
——生产日期或批号、充装质量(kg);
——本标准编号及技术指标、检验员号。
5.1.12
六氟乙烷产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内，不应暴晒，远离热源。
5.2.1 六氟乙烷在常温常压下是惰性的、无色、不燃和无毒气体。
5.2.2
装有六氟乙烷的钢瓶不应近火源或过度加热，若遇高热，容器内压力增大，有开裂和爆炸的
危险。
5.2.3
接触六氟乙烷可致冻伤；吸入可能导致不适如恶心、头痛，以及麻醉如头昏眼花、晕厥、反应迟
钝、失去知觉；高浓度(大于20%)吸入可能导致心律不齐、心悸、供血不足；过多暴露可能导致原有的神
经中枢系统疾病加剧。当出现上述症状时，应及时从现场撤离，就医。
5.2.4 当环境中六氟乙烷浓度较高时，现场人员应佩戴自吸过滤式防毒面具。
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